한 줄 결론
도쿄일렉트론은 EUV로 칩을 새기지 않는다. EUV가 칩을 새기기 직전·직후에 웨이퍼를 코팅하고 현상한다. 코터·디벨로퍼 글로벌 90% 독점이라, ASML의 노광기가 돌 때마다 도쿄일렉트론의 코터도 함께 돈다. 2027 회계연도 상반기 매출이 33% 늘고 코터 부문은 50% 넘게 자란다. 남은 질문은 약 34조 엔 시총이 그 독점을 얼마나 앞서 사들였는가다.
코터·디벨로퍼 글로벌 90% 점유, ASML EUV 패터닝의 게이팅 툴이자 일본 장비 1위
도쿄일렉트론은 EUV로 칩을 새기지 않는다. EUV가 칩을 새기기 직전·직후에 웨이퍼를 코팅하고 현상한다. 코터·디벨로퍼 글로벌 90% 독점이라, ASML의 노광기가 돌 때마다 도쿄일렉트론의 코터도 함께 돈다. 2027 회계연도 상반기 매출이 33% 늘고 코터 부문은 50% 넘게 자란다. 남은 질문은 약 34조 엔 시총이 그 독점을 얼마나 앞서 사들였는가다.
2026 회계연도 매출 2조 4,435억 엔(사상 최고)·순이익 5,744억 엔(사상 최고)에 더해, 2027 회계연도 상반기 가이던스가 1조 5,700억 엔(+33% YoY)으로 컨센서스를 크게 웃돌았다. 부문별로 코터·디벨로퍼 50% 이상, 식각 25% 이상, 어드밴스드 패키징 장비 60% 이상 성장 가이드가 제시됐고, 회사는 1,500억 엔 자사주 매입과 2026년 10월 1일 5대 1 액면분할을 단행했다.
패터닝 권력 — 도쿄일렉트론(코터 90% 독점, 식각 상위, 일본 장비 1위)·ASML(EUV 노광 독점, 도쿄일렉트론과 보완). 보완 관계 — 어플라이드 머티어리얼즈·램리서치·KLA(가공·검사 장비, 영역 분담). 상쇄 요인 — 중국 매출 34%의 추가 통제 위험·엔화 강세 시 환산 실적 압박·매출총이익률 45%대의 단기 마진 압박.
칩에 회로를 새기는 과정을 패터닝이라 한다. 그 핵심이 노광이다. 빛으로 회로 패턴을 웨이퍼에 옮긴다. 가장 미세한 패턴은 EUV(극자외선) 노광으로 새긴다. ASML이 노광기를 독점 공급한다.
그런데 노광기 혼자서는 패턴이 안 나온다. 노광 전에 웨이퍼에 감광액(포토레지스트)을 고르게 발라야 한다. 너무 두껍거나 얇으면 패턴이 흐려진다. 노광 후에는 빛을 받은 부분을 현상해 패턴을 드러내야 한다. 이 코팅과 현상이 , 즉 트랙이다.
트랙은 노광기와 따로 떨어져 있지 않다. 인라인으로 붙어 있다. 웨이퍼가 트랙에서 코팅되고, 그대로 노광기로 들어가고, 다시 트랙으로 나와 현상된다. 한 흐름이다. 그래서 트랙은 패터닝의 , 즉 반드시 거치는 길목이다.
도쿄일렉트론이 이 트랙을 글로벌 약 90% 쥔다. EUV 전용 트랙만 보면 사실상 100%다. 새 진입자가 끼어들기 어렵다. 새 트랙을 ASML 노광기와 인라인으로 고객 팹에서 검증받으려면 수년이 걸린다. 독점이 구조적으로 지켜진다.
코터·디벨로퍼는 EUV 패터닝이 반드시 거치는 게이팅 툴이다. 노광기 앞뒤에 인라인으로 붙어 도는 이 길목을 도쿄일렉트론이 90% 쥐고 있다.
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